電子スペックル干渉計測のためのフーリェ変換技術を用いた２枚のスペックルパターンによる空間的縞解析法

新井 泰彦; 横関 俊介

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.7.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: A05

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.7.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

電子スペックル干渉計測のためのフーリェ変換技術を用いた２枚のスペックルパターンによる空間的縞解析法

*新井泰彦, 横関俊介

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キーワード: フーリェ変換, 空間的縞解析法, 高分解能, 面外変形計測

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抄録

フーリェ変換を基礎とした空間的縞解析法に基づく高分解能な電子スペックルパターン干渉法が新しい光学系を用いることによって提案されている．平面を回転させることによる面外変形計測の実験において本手法の測定精度が検討され，その測定精度が光源波長の1/100よりも高いことが確認されているとともに，凹形位相分布を持つ面外変形の計測も可能であることが示されている．

責任著者(Corresponding author)

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