可変自成絞りによる油静圧軸受の高性能化

抄録

難加工材料の超精密加工の実現のため，工作機械の案内要素には高剛性・高減衰であることが求められる．本研究では，これらの性能を同時に高める手法として新しい絞り要素である可変自成絞り機構を提案する．提案した油静圧軸受が高い静剛性および動剛性を同時に実現可能であることを実験的に確認している．また，ステップ状の負荷外乱の作用下における軸受応答から，高い減衰性を有することを確認している．