空気静圧軸受における主軸と軸受の形状誤差が回転精度に及ぼす影響

抄録

空気静圧支持された無負荷時の軸の位置は，空気膜圧力による力がつりあうように定まる．主軸に形状誤差があれば回転中に空気膜圧力が変化し，力がつりあうよう軸が移動する，すなわち，回転振れが発生する．実際は軸と軸受双方に形状誤差があるため，実用的には両者の誤差が回転振れに及ぼす影響を定量化する必要がある．本研究ではラジアル運動誤差に着目し，これに及ぼす形状誤差の影響を理論的，実験的に検討している．