FEM解析によるリング型PZTアクチュエータの最良溝形状設計

抄録

我々は流路部とポンプ部を一体化した中空管マイクロポンプを開発している．本ポンプ内流量増加のためにはアクチュエータであるリング型PZTの出力の増加が必要である．ここで，静的解析よりリング型PZTへの溝付加が変位増加に有効だと確認されているが，反力の詳細な検討は行われておらず，また溝付加による変位増加の原因も明らかではない．従って複数の溝付加型PZTの変位，反力，および電界の調査を行い，溝形状の最良化を行った．