マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究

大倉 義弘; 本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.807.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: L62

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.807.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

マイクロピッチラックを用いた精密ステージの研究

*大倉義弘, 本田智

著者情報

キーワード: マイクロピッチラック, 精密位置決めステージ, 三角カム機構, 変位縮小機構, 超極細ワイヤ, インチワーム駆動

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抄録

ピッチが60μｍのマイクロピッチラックとこれに噛み合うマイクロピッチ歯を線径が30μｍの超極細ワイヤを用いて製作し，また三角カム機構と変位縮小機構を組み合わせた小型インチワーム駆動機構を考案し，さらにこれらを組み合わせた精密ステージを試作したので，この精密ステージの構造と動作，および，位置決め性能について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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