ボールねじ駆動によるサブナノメートル位置決めの研究

抄録

位置決め用送りねじにはボールねじを用いる場合が現状では多く，ボールねじ駆動による位置決め性能の向上が求められている．本報では，分解能70pmのリニアエンコーダとボールねじおよびエアスライドを用いた位置決めシステムを構成し，サブナノメートルレベルにおけるボールねじの挙動と位置決め性能を実験により明らかにしている．ボールねじの非線形ばね特性に対応したゲインスケジューリングを導入し高精度化を実現している．