顕微鏡動画像からのマイクロ形状再構成

観察面の光軸方向への移動推定方法の提案

抄録

低コストで導入可能な光学顕微鏡を精密部品の外観形状検査等に利用したいという要求がある．焦点系列画像から合焦位置推定をおこない三次元形状を再構成する手法があるが，動画像から再構成をおこなうには，光軸方向への観察面の移動量・移動方向を推定する必要がある．本研究では，動画像中の輝度変化から光軸方向の移動量・移動方向を推定し，それをもとにマイクロ形状の再構成をおこなう．