同心円回折格子干渉計を用いた軸受のラジアル アキシャル アンギュラーモーションの一括測定 第5報：低速回転軸受の誤差測定

上杉 修平; マディン ムハマッド; 熊谷 卓也; 明田川 正人

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.923.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: N33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.923.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

同心円回折格子干渉計を用いた軸受のラジアルアキシャルアンギュラーモーションの一括測定

第5報：低速回転軸受の誤差測定

*上杉修平, マディンムハマッド, 熊谷卓也, 明田川正人

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キーワード: 同心円状回折格子, 軸受, 干渉計, ラジアルモーション, アキシャルモーション, アンギュラーモーション

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抄録

前報で周波数可変レーザを用いた正弦波位相変調法を採用し2軸変位センサを新たに構築した．新たな2軸変位センサは2個のフォトダイオードで2個のリサージュダイアグラムを取得し，軸受のX方向（回転軸と直角方向），Z方向（回転軸と同軸方向）の変位を捉える事が出来た．本報では低速回転軸受に同心円状回折格子を取付け，新たな2軸変位センサを3個用いて軸受誤差測定装置を構成し，低速回転軸受の誤差測定実験を行う．

責任著者(Corresponding author)

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