紫外線で励起された光触媒と蛍光材料によるAl5052/Al(99+)の研磨現象の検証

紫外線励起加工の研究（U-RAM）（第14報）

抄録

電子と正孔の還元・酸化作用ならびに光触媒による引掻き作用を材料の加工に用いようと試みてきた．アルミニウム合金/純アルミニウムの研磨で，0.18μm TiO2のみでは，表面の粗さは小さくならないこと，蛍光材料の濃度が大きいほど化学研磨が多く，表面は粗くなること，0.1μmのTiO2では腐蝕が進み，表面の粗さが大きくなることを明らかにし，粗さが最も小さくなる条件を明らかにした．また，大きな試片のU-RAM加工を行った結果，10nmRa程度の平滑な鏡面を得ることができた．