硫酸バリウム砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

荒木 大秀; 古城 直道; 廣岡 大祐; 山口 智実; 松森 昇; 尾倉 秀一

doi:10.11522/pscjspe.2013S.0.961.0

2013年度精密工学会春季大会

セッションID: O13

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013S.0.961.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

硫酸バリウム砥粒砥石による単結晶シリコンの超仕上性能

*荒木大秀, 古城直道, 廣岡大祐, 山口智実, 松森昇, 尾倉秀一

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キーワード: 超仕上, 単結晶シリコン, メカノケミカル超砥粒砥石, 硫酸バリウム, 酸化

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抄録

前報において，化学的作用を持つ軟質な硫酸バリウムを含むメカノケミカル複合超砥粒砥石を開発し，従来のダイヤモンド砥石よりも仕上性能が優れていることを示した．本報では，硫酸バリウムのみを固定砥粒化した砥石を用いて，メカノケミカル砥石で仕上げた単結晶シリコンのさらなる平滑化を試みた．その結果，化学的作用を促進させる条件下において，2分の超仕上で約1.5nmRaの粗さを得られることが明らかになった．

責任著者(Corresponding author)

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