透明体電極を用いた電解加工中の放電現象の観察

抄録

電解加工は機械加工が困難な材質においてなめらかな表面に仕上げられることが一つの大きな特徴である．しかし，電解加工中に起きる放電がその表面性状を悪化させてしまう．透明な半導体であるSiC単結晶ウェハを電極に用い，極間を直接観察することで電解加工中における放電現象を解明する．