溶液環境下での単結晶ダイヤモンド基板の加工特性評価

抄録

ダイヤモンドは，高硬度，高熱伝導率，耐環境性など優れた特性を有し，様々な分野での応用が期待されている．高硬度かつ熱的，化学的に極めて安定な材料であるため，その加工が困難であり高能率，高精度な加工技術の開発が求められている．本報告では，われわれが提案，開発している溶媒中でのダイヤモンド基板の平滑化加工法の加工特性について， 加工能率，加工精度，結晶面方位などの観点から調査した結果を報告する．