超高精度平面基板の開発

抄録

市販のレーザ干渉計に搭載可能なφ100 mm（有効径90%），λ/100（約6.3 nm）精度の超高精度平面基板を開発した．フィゾー干渉計などで平面基板を利用する場合，高精度に研磨するだけでなく，装置に組み込んだ状態で要求精度を達成しなければならない．そのため，平面基板の保持機構や自重たわみによる変形を解析し，保持機構を含んだ平面基板を開発した．また，既に開発した超高精度形状測定装置を用い，開発した平面基板の精度を実証した．