小径工具を用いたスラリー流れ制御型研磨（第1報） 新型工具の加工特性

吉冨 健一郎; 餅田 正秋; 多田 一生; 宇根 篤暢

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_45

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: A45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_45

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主催: 公益社団法人精密工学会

小径工具を用いたスラリー流れ制御型研磨（第1報）

新型工具の加工特性

*吉冨健一郎, 餅田正秋, 多田一生, 宇根篤暢

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キーワード: 高能率研磨, スラリー流れ, 加工速度, CMP, 研磨パッド

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抄録

様々な薄型試料の高精度研磨には高い加工能率が求められている．研磨の高能率化には研磨面のスラリー流れの状態が重要である．本研究の目的は，小径工具を用いた大口径ウエハの片面研磨において，研磨面のスラリー流れを最適に制御することにより高能率研磨を実現する方法を確立することである．本報では，新たに考案した加工面に高速なスラリー流れを形成する工具を使用したさいの加工特性について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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