ファイバードレッサによるパッドドレッシングの有効性評価とそのメカニズム

ファイバードレッサとダイヤモンドドレッサの寿命評価試験

抄録

本研究は研磨パッドの研磨特性を定量的に評価することで，ファイバードレッサの有効性を示すことを目的とする．本報では，ファイバードレッサとダイヤモンドドレッサの双方による長時間ドレス寿命試験を行い，パッドカットレートと切削屑の分析をするとともに，シリコンウェーハの研磨レートの安定性について比較検討した．また，すくい角の観点からメカニズムを考察することで，ファイバードレッサの有効性を示し得る知見を得た．