電解還元水スラリーを用いた磁気援用加工に関する研究

抄録

スラリー供給式磁気援用加工法は，長時間の安定した研磨加工に有効であることが，これまでの研究により明らかになっている．本報では，電解還元水スラリーを用いて平面磁気研磨を行い，界面活性系金属加工液スラリーとの違いについて検討する．