超精密ダイヤモンド旋削加工による自由曲面創成法の提案

抄録

光学分野における自由曲面形状への要求は年々大型化していく傾向にある。従来の加工方式にて加工可能であるが、その要求を満たす加工に費やす時間は膨大となり大型ミラー等の製造における問題点の一つである。自由曲面加工手法の一つとして、割出回転軸を用いた自由曲面旋削加工（スローツールサーボ加工）方法の提案を行い、装置開発および加工プロセスの検討を行った。本稿では得られた面精度および加工時間評価について述べる。