微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究

第2報　ドリフト低減のためのプローブ走査方式の検討

抄録

本研究では，三次元微細形状を非接触状態で高精度に測定するための静電気力顕微鏡の開発を目的としている．試料表面の微細形状は探針と試料との間に作用する静電気力の力勾配に基づいて算出される探針-試料間距離から測定される．本報では，探針-試料間の機械的なドリフトおよび探針振動の周波数ドリフトに起因する形状測定の誤差について検証し，ドリフトの影響を低減するためのプローブ走査方式について報告する．