MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発（第5報） 平面測定用デバイスの設計と構造解析

菊地 洋輝; 清水 浩貴; 田丸 雄摩; 坂本 憲児

doi:10.11522/pscjspe.2014A.0_829

2014年度精密工学会秋季大会

セッションID: Q17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014A.0_829

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主催: 公益社団法人精密工学会

MEMS技術を応用した多点法走査型形状測定用センサデバイスの開発（第5報）

平面測定用デバイスの設計と構造解析

*菊地洋輝, 清水浩貴, 田丸雄摩, 坂本憲児

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キーワード: 計測, MEMS, カンチレバー

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抄録

現在，機械加工面のような広域な平面を高精度に測定する方法は確立されていない．本研究では走査形状測定において，高分解能変位センサ3つを等間隔に並べ，次の走査線上に2つセンサを追加することにより，センサの並進誤差，姿勢誤差を排除することのできる平面測定用デバイスを提案する．本デバイスはMEMS製造技術を用いて製作するにあたり，レイアウトの工夫によりデバイスを小型に設計し， FEM解析により最適な形状を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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