シャクハルトマンセンサを利用したたわみ測定による電鋳プロセスの高精度化

抄録

金属の電析によって表面形状の転写を行う電鋳法は，その高い形状転写性から金型，MEMS作成などにおいて広く用いられている．電鋳による形状転写の精度向上のためには電析応力によるたわみの抑制が不可欠である．本研究では，シャクハルトマンセンサを利用してマスターのひずみを測定し、印加電流を制御することで電析応力にフィードバックをかけることにより、電鋳の形状転写性の向上を試みる。