回転球型EEM（Elastic Emission Machining）による軟X線回転楕円ミラー用マンドレル表面の平滑化

抄録

本グループではＸ線集光用回転楕円ミラー作製のプロセスとして，ガラス製マンドレルにＮｉを電鋳する方法を採用している。本研究は，回転球型ＥＥＭを用いてこのガラス製マンドレル表面の粗さを除去することを目的としている。従来，曲率の小さなガラス表面に対して適用されてきた回転球型ＥＥＭを，直径5～10mm程度の曲率の大きなガラス円柱面に適用し，円柱面でも安定して良好な表面粗さを達成することが可能であるか調べた。