レーザ変位計による形状計測の高精度化の研究 エッジ位置特定方法の検討

大坪 樹; 矢澤 孝哲; 山田 玲子; 前田 幸男; 藤井 啓太; 中提 俊太; 木須 博行; 扇谷 保彦; 小島 龍広

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_133

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: B43

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_133

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主催: 公益社団法人精密工学会

レーザ変位計による形状計測の高精度化の研究

エッジ位置特定方法の検討

*大坪樹, 矢澤孝哲, 山田玲子, 前田幸男, 藤井啓太, 中提俊太, 木須博行, 扇谷保彦, 小島龍広

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キーワード: 三角測量法, 機上計測, アンチピンホール法, レーザ変位計

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抄録

三角測量式変位計を使用して段差形状を測定する場合，段差のエッジ部において測定誤差が発生し，それをソフトウェアで丸めこんでいるのが現状である．変位計を使用したエッジ検出がどの程度の精度で有効であるか実証した結果はない．そこで，本研究室で開発したアンチピンホール法により特定したエッジ位置と変位計による検出したエッジ位置と比較し，三角測量式変位計におるエッジ検出について実験的に検討した結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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