様々な偏光ビームによる加工穴形状の数値シミュレーション

菊池 弘; 菊田 久雄; 水谷 彰夫

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_185

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: C16

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_185

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主催: 公益社団法人精密工学会

様々な偏光ビームによる加工穴形状の数値シミュレーション

*菊池弘, 菊田久雄, 水谷彰夫

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キーワード: 偏光ビーム, レーザ加工, 穴加工, 数値シミュレーション

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抄録

レーザ加工による穴加工の形状はビーム光強度分布と偏光状態に強く依存する．分割偏光素子を用いて光強度分布とともに偏光状態を変換する素子に関する研究がなされている．本研究では，様々な偏光ビームの変換によって得られるレーザ光を用いた加工穴形状を数値シミュレーションによって評価し，それらの特徴を明らかにする．

責任著者(Corresponding author)

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