積層印刷メッシュ電極を有する静電アクチュエータによる複数移動子ハンドリング

井口 龍太; 細畠 拓也; 山本 晃生

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_215

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: C39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_215

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主催: 公益社団法人精密工学会

積層印刷メッシュ電極を有する静電アクチュエータによる複数移動子ハンドリング

*井口龍太, 細畠拓也, 山本晃生

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キーワード: 静電アクチュエータ, メッシュ状電極

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抄録

先行研究でワイヤーメッシュを用いた2自由度静電アクチュエータにより複数移動子のハンドリングが実現されている．さらに近年，透明な電極を有する静電アクチュエータの研究が行われている．ここでは，透明な電極を使用し電極構造をメッシュ形状にすることによって，2自由度平面静電アクチュエータにおける複数移動子ハンドリングについて実験を行った．

責任著者(Corresponding author)

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