超音波支持におけるギャップ内圧力分布測定 第2報　質量付きダイアフラムを用いた圧力センサ

千田 竜太郎; 石野 裕二; 高崎 正也; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_219

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: C44

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_219

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主催: 公益社団法人精密工学会

超音波支持におけるギャップ内圧力分布測定

第2報　質量付きダイアフラムを用いた圧力センサ

*千田竜太郎, 石野裕二, 高崎正也, 水野毅

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キーワード: 超音波支持, ダイアフラム, MEMS

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抄録

超音波振動子の振動面近傍で板状物体が鉛直下向きで非接触支持される現象は超音波支持と呼ばれる．前報ではこの現象の詳細を把握するため，振動面の圧力を直接測定可能なセンサの製作を行ったが，振動面近傍ではセンサが振動してしまうため測定が困難であった．そこで本報では振動を抑えるために質量付きダイアフラムを用いた圧力センサを製作し，振動面近傍におけるギャップ内圧力分布測定を行った．

責任著者(Corresponding author)

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