革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第1報）

装置化の基本コンセプトと試作装置

抄録

平滑・平坦化に優れるCMP法と等方性エッチングを加工原理とし、高い加工効率のP-CVM法を組合せる事により、ダイヤモンドなどの超難加工材料を効果的に無歪・平坦鏡面化加工を可能とする革新的加工法を考案し装置化を実現した。CMP法とP-CVM法を同一装置内でサイクリックに組合せ加工できるA-typeの基本型装置、また、挑戦型タイプとしてCMP法とP-CVM法を融合化したIn-situ加工方式のB-typeの装置をそれぞれ試作した。これらの設計コンセプトと試作した融合加工装置について報告する。