革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第2報） 基本型融合加工装置(A-type)とその基本特性

塩澤 昂祐; 佐野 泰久; 土肥 俊郎; 黒河 周平; 會田 英雄; 宮下 忠一; 住澤 春男; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_273

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: D03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_273

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主催: 公益社団法人精密工学会

革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第2報）

基本型融合加工装置(A-type)とその基本特性

*塩澤昂祐, 佐野泰久, 土肥俊郎, 黒河周平, 會田英雄, 宮下忠一, 住澤春男, 山内和人

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キーワード: 大気圧プラズマ, 機械加工, 平坦化

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抄録

大気圧下でのプラズマエッチングであるPCVM（Plasma Chemical Vaporization Machining）は，加工変質層を選択的にエッチングする特性を有する．被加工物表面凸部に加工変質層を形成する機械加工部と，その層を高能率に除去するPCVM部から成る基本型CMP/PCVM融合装置を試作し，両者の融合により被加工物表面の段差解消能力が向上する可能性を見出した結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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