エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第18報） 伝搬光・エバネッセント光融合露光造形実験

宮川 幸大; 田原 弘之; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_303

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: D34

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_303

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主催: 公益社団法人精密工学会

エバネッセント露光型ナノ光造形法に関する研究（第18報）

伝搬光・エバネッセント光融合露光造形実験

*宮川幸大, 田原弘之, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: エバネッセント光, 光造形法, 3Dプリンタ

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抄録

Sub-μmの加工分解能を持つ3次元的な造形法として，本研究では光造形法の露光エネルギとしてエバネッセント光を導入する造形手法を提案している．本報では，低NA伝搬光露光も行えるハイブリッド露光システムを用いて，柱状の積層厚の場合に一括で造形物を得る高スループットな積層プロセスを提案した．造形例として柱形状とエバネッセント露光によるSub-μm極薄層の積層造形物を得た．

責任著者(Corresponding author)

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