AlNカンチレバーを用いた高感度低消費電力の圧力変動検出スイッチ

海法 克享; 高橋 英俊; 富松 大; 小林 健; 松本 潔; 下山 勲; 伊藤 寿浩; 前田 龍太郎

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_345

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: E04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_345

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

AlNカンチレバーを用いた高感度低消費電力の圧力変動検出スイッチ

*海法克享, 高橋英俊, 富松大, 小林健, 松本潔, 下山勲, 伊藤寿浩, 前田龍太郎

著者情報

*海法克享
NMEMS技術研究機構　グリーンセンサネットワーク研究所
高橋英俊
東京大　情報理工学系研究科
富松大
NMEMS技術研究機構　グリーンセンサネットワーク研究所
小林健
産総研　集積マイクロシステム研究センター
松本潔
東京大　情報理工学系研究科
下山勲
東京大　情報理工学系研究科
伊藤寿浩
NMEMS技術研究機構　グリーンセンサネットワーク研究所
前田龍太郎
NMEMS技術研究機構　グリーンセンサネットワーク研究所
著者所属：
日立ハイテクサイエンス　分析技術部

キーワード: 圧電体, カンチレバー, 圧力センサ, MEMS

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抄録

本研究では，検出素子として圧電体であるAlNをカンチレバー上に形成した，圧力変動によって駆動するスイッチを提案する．圧電体を用いることで，センサ素子を動作させるのに原理的に電力を消費しないため，低消費電力で駆動するセンサが実現できる．カンチレバーの大きさは1500 μm × 1000 μm × 2 μmに設計した．圧力差に対する感度は圧力差-20 Pa ~ +20 Paの範囲において10 mV/Paとなり，数十 Pa程度の圧力変動で駆動するスイッチを実現した．

責任著者(Corresponding author)

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