MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第4報）

表面荒れを抑えた探針製作法

抄録

MEMS技術を応用し，機械加工面の真直度を高精度に測定するためのマルチカンチレバー変位測定デバイスの要素製作を行った．薬液組成の調整やエッチング時のウェハの姿勢の変更により，シリコンウェハ表面を鏡面に保ちつつ高さ約250μmの探針を製作することに成功した．また，ピエゾ抵抗体を用いた変位検出回路を製作して，先端変位に対して抵抗値変化が生じることを確認し，本デバイスによる変位測定が可能であることを確認した．