THz近接場顕微鏡におけるレーザを利用した探針位置合わせ装置の開発

金原 優太; 林 冠廷; 梶原 優介

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_51

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_51

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主催: 公益社団法人精密工学会

THz近接場顕微鏡におけるレーザを利用した探針位置合わせ装置の開発

*金原優太, 林冠廷, 梶原優介

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キーワード: 近接場顕微鏡, パッシブ計測, エヴァネッセント波, テラヘルツ波

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抄録

パッシブ型THz-SNOMとは，外部光による励起を用いずに物質表面に局在するエバネッセント光を数10 nmの分解能で測定可能な走査型近接場顕微鏡である．従来は顕微鏡の探針位置合わせをサンプルに施された金属の微小なマークを目標にする必要があるという問題があったが，レーザスポットによる局所温度変化を疑似的なマークとして利用する装置を作製して問題の解決を行っている．本報ではこの探針位置合わせ装置を用いて近接場検出を試みたので，その結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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