大型非球面形状のナノメートル測定（第10報）

オートコリメータのその場自己校正法

抄録

近年，大型の非球面ミラー，レンズの光学面形状を高精度で測定することが要求されている．本研究では，オートコリメータ(AC)を用いた傾斜角計測によって光学面形状をナノメートルの測定することを行っている．前報では測定に用いる広測定範囲のACの開発を行った．そこで本報は， ACの実験装置上で行える自律校正方法を提案しその手法が測定手法の測定精度向上に有効であることを示しまた他の測定手法と比較を行った．