光コムを用いた粗面物体の非接触計測技術に関する研究

光コムと回転ミラーを用いた計測面に対する形状測定

抄録

光路長変化による光コムのセルフビートの位相変化に基づいた、高分解能で非接触な粗面に対する形状計測手法の開発を行なっている。セルフビートの波長は、表面粗さと比べて十分な長いため、粗面物体の計測が可能である。また、数十GHzの帯域までセルフビートを利用できるので、精密な絶対計測ができる。回転ミラーを回転させ、光をひりことにより、遠方にある粗面物体の表面形状を絶対計測することができる。