画像測定機によるX線CT装置用検出器画像ひずみ基準器の評価

抄録

X線CT装置は、優れた非破壊検査装置として利用されてきたが、最近では、計測の機能を付加した内部形状計測用X線CT装置が開発されている。しかし、形状測定の精度の評価やトレーサビリティの確保は充分でない。そのため、測定精度を決める要因の一つである、検出器の画像ひずみを評価するために、基準器を開発している。本研究では、この基準器を画像測定機を用いてトレーサブルに評価する際の不確かさ要因について評価した。