精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会春季大会
セッションID: H13
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78パーマロイ材の表面に及ぼすNa2SO4電解酸化水の影響
*佐藤 運海川久保 英樹
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抄録
本研究では,H2SO4溶液およびNaCl電解酸化水と比較しながら,78パーマロイ材の表面に対するNa2SO4電解酸化水のエッチング性能,試料片表面のミクロ形状への影響などについて検討を行った.その結果,エッチング作用について,Na2SO4電解酸化水は,NaCl電解酸化水と比べ弱いが,H2SO4溶液より強い.ミクロ的な形状への影響については,Na2SO4電解酸化水はH2SO4溶液と同様である.
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© 2014 公益社団法人 精密工学会
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