大気圧低温プラズマ成膜装置を用いたZnO透明撥水性薄膜の作製

抄録

屋外に設置された太陽電池パネルの表面の汚れは、発電効率の低下の原因となる。また、電子機器のタッチパネルにおいては、指油の付着が視界悪化の原因になる。これらの問題を解決するために、本研究では、透明で撥水・撥油性をもつ表面を作製することを目的とした。第1に基板上に直径100nmの酸化ケイ素粒子を付着させ、第2に大気圧低温プラズマ成膜装置を用いて酸化亜鉛の凹凸表面を作製、最後に撥水性の単分子化学吸着膜を付着させた。