高効率SiH₄生成に向けたマイクロ波水素プラズマ源の開発

抄録

TIAGO（Torche a Injection Axiale sur Guide d'Ondes）型ノズルを用いた大気圧プラズマ源は、簡便な装置構成により一つのマイクロ波源で複数のプラズマ生成ができるため、プロセスの処理能力向上が期待される。本研究では、高効率なSiH₄生成に向けTIAGOノズルをベースとした水素プラズマ源の開発を進めている。今回は、ノズルにより生成されるプラズマ特性を把握するため、生成ガス種依存性（He、Ar、N₂、空気）、電力依存性および流量依存性等を調査した結果を述べる。