精密工学会学術講演会講演論文集
2014年度精密工学会春季大会
セッションID: H32
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スパッタリング法を用いた正5角形状断面を有するマイクロ無痛針の創製
*首藤 友弥槌谷 和義
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キーワード: マイクロ無痛針
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抄録
マイクロ無痛針はTi製で長さ4mmの場合,高剛性,低管摩擦を満足する内径44μm,外径95μmに内接する正5角形状の針が最適形状であると報告されている.著者らは針断面に堆積している膜厚差から四角形状断面の創製を確認したことから,一角の創製を目的とした冶具の回転速度制御の構築が課題である.本報では一角の創製を目的とした回転速度制御の構築を行い,実験により角創製が可能である回転速度制御の構築が可能であることを確認した.
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© 2014 公益社団法人 精密工学会
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