高分子材料の熱分解を利用した中空化手法の開発

抄録

スパッタリング法を用いた極細管創製手法ではマイクロ無痛針の創製過程における基材除去の中空化に長時間を要するため，高分子材料の熱分解を利用した新規中空化手法を用いることで中空化時間の短縮を行う．新規中空化手法を用いた際，TiCが形成されることからマイクロ無痛針の強度が向上すると示唆される．そこで，本研究では解析ソフトを用いて曲げ荷重での針のシミュレーションを行い，TiC形成の有効性の確認を行った．