高速ナノ形状測定装置による非球面ミラーの形状測定

抄録

次世代高精度光学素子の作製には形状誤差をPV1nm 以上で自由曲面を測定する必要がある。そこで我々は、光の直進性とゴニオメータの高精度回転を利用した法線ベクトル検出型超精密形状測定装置を開発した。本測定法では光学系3軸、試料系2軸を同時に制御し、試料面各点の法線ベクトルと座標を測定し、それらに独自のアルゴリズムを用いて表面形状を算出する。本稿では本測定装置用いた非球面ミラーの形状測定結果を報告する。