角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第1報）

測定原理の検討と基礎的検証

抄録

本研究は、逐次３点法真直度測定装置に、隣接するラインとの高さの差を測定する２つのセンサを追加し、走査することで平面形状測定を行うものである。さらに、角度センサを用いて、真直度測定用の各センサのゼロ点の補正と、ラインを跨いで走査する際のセンサユニットの姿勢誤差を補正する。本報では、提案する手法を用いた測定のシミュレーション結果や基礎的検証実験の結果を報告する。