微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究 形状測定の高速・高精度化のための走査方式の検討

細渕 啓一郎; 賈 志剛; 伊東 聡; 清水 裕樹; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_11

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A07

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_11

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主催: 公益社団法人精密工学会

微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡に関する研究

形状測定の高速・高精度化のための走査方式の検討

*細渕啓一郎, 賈志剛, 伊東聡, 清水裕樹, 高偉

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キーワード: マイクロ・ナノ計測, 非接触SPM, 静電気力顕微鏡, 形状測定, 高速・高精度測定

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抄録

本研究ではマイクロ構造物の表面ナノ形状を測定するための非接触静電気力顕微鏡の開発に取り組んでいる．探針と試料表面の間に作用する静電気力の力勾配に基づいて探針-試料間距離を算出し，試料表面形状の非接触測定を行う．本報では測定精度の向上と測定時間の短縮のための探針位置制御と探針-試料間距離算出のアルゴリズムの最適化について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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