直接角度変調による振り子式水準器の分解能向上

西森 裕作; 韋 冬; 明田川 正人; 柳 和久

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_5

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_5

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主催: 公益社団法人精密工学会

直接角度変調による振り子式水準器の分解能向上

*西森裕作, 韋冬, 明田川正人, 柳和久

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キーワード: 水準器, ソフトウェアデータム, 角度測定

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抄録

ソフトウェアデータムを用いた平面度測定法のため，分解能0.1 arcsec 以下を有する水準器を開発する．傾斜変化は光がプリズム入射角度に依存して決まる反射光と透過光の光強度を，振り子にしたミラーで多重反射させて検出する．角度変調法は直接入射角度を変化させ変調する方法であり，これを水準器に応用した．強度変調法による角度検出と比較し角度変調方法を用いた傾斜測定が角度検出方法としての性能を有するかどうかの検討を行った．

責任著者(Corresponding author)

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