測長原子間力顕微鏡を用いた表面粗さ測定（第１報）

JIS R 1683:2007 に整合した手法の検討

抄録

薄膜の作製条件や材料の表面処理条件を最適化するため、原子間力顕微鏡(AFM)を用いた表面粗さ測定がよく行われる。近年、より高品質な薄膜や材料表面を得るために、より高精度で信頼性の高い表面粗さ測定が求められている。今回、JIS R 1683:2007「原子間力顕微鏡によるファインセラミックス薄膜の表面粗さ測定方法」に整合した手順で、測長原子間力顕微鏡を用いた表面粗さ測定を行った。さらに、表面粗さ測定における不確かさ評価を行ったので結果を報告する。