蛍光検出によるマイクロトレンチ構造の3次元形状計測（第2報）

蛍光信号の変化を用いた測定物表面の検出

抄録

本研究ではマイクロトレンチ構造における幾何形状の3次元計測技術として、測定物表面からの蛍光検出を用いた3次元形状計測原理を提案している。前報では測定物表面の検出信号となる蛍光が垂直面においても検出可能であることを示した。本報では、基準寸法を持つ測定物を蛍光検出を用いて寸法測定することで、検出された蛍光の強度変化から表面を同定できるかについて検討した結果を報告する。