双極型静電誘導ファイバーの配列に際して電極形状が静電力に与える効果

抄録

振幅のある曲面を持つ誘電体を操作する為に、双極型静電誘導ファイバーと呼ぶ繊維を多本数配列した静電チャックが提案されている。本報では、繊維を格子状に配列した際に、配列に要する単位面積当たりの静電力に、配列間隔と繊維に内包する電極形状が与える効果を示す。有限要素法解析の信頼性を繊維単線での静電力の測定値との比較によりに担保し、配列本数が十分に多い時の吸着力を複数本での解析結果と理論に基づき予測した。