超高感度角度センサに関する研究

測定レーザビーム径拡大に伴うレンズ収差の影響

抄録

超精密ステージ等の微小姿勢角計測に用いられる光学式角度センサの高感度化が求められている．筆者らはシングルセル受光素子を用いた高感度レーザ角度センサを開発してきた．測定レーザビーム径を拡大すると受光素子上での集光スポットが小径化し更なる高感度化が望める一方で，対物レンズの収差による影響が無視できなくなる．本報では，対物レンズの収差がセンサ感度に及ぼす影響を理論的・実験的に検討した結果を報告する．