WGM共振を利用した微小球の直径計測（第2報）

WGM波長スペクトルを用いた球径の推定方法

抄録

本研究はマイクロCMMに用いるマイクロプローブの直径を測定する技術としてWhispering gallery mode（WGM）を用いた手法を提案している。前報ではWGMの励起方法について報告した。本法ではWGMの波長スペクトルから直径の決定方法について検討を行ったので報告する。実験によって得られたWGMの波長スペクトルに対して、解析手法によって得られる値との最小自乗により、直径同定手法を提案する。