微小球付きナノピペットプローブを用いたマイクロ構造物の寸法測定に関する研究

伊東 聡; 小玉 一成; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_81

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A74

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_81

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主催: 公益社団法人精密工学会

微小球付きナノピペットプローブを用いたマイクロ構造物の寸法測定に関する研究

*伊東聡, 小玉一成, 高偉

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キーワード: ナノピペットプローブ, 寸法計測, 接触式プローブ, シェアフォース検出, 座標測定機

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抄録

マイクロスケール構造物の3次元計測のために，中空ガラス製ナノピペット先端にマイクロガラス球を配置した微小球付きナノピペットプローブの開発に取り組んでいる．水平方向に振動させたプローブにより試料表面で生じるシェアフォースを検出することで，測定対象との接触を高感度に検出することが可能である．本報では，微小球付きナノピペットプローブを用いてマイクロ構造物の寸法測定を行った結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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