極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発 直径1μmスタイラスを用いた光学的解析および評価実験

村上 洋; 甲木 昭雄; 佐島 隆生; 末松 拓也; 徳王 成海; 福田 光良

doi:10.11522/pscjspe.2014S.0_83

2014年度精密工学会春季大会

セッションID: A75

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2014S.0_83

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主催: 公益社団法人精密工学会

極小径光ファイバプローブを用いた微細三次元形状精度測定システムの開発

直径1μmスタイラスを用いた光学的解析および評価実験

*村上洋, 甲木昭雄, 佐島隆生, 末松拓也, 徳王成海, 福田光良

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キーワード: 微細三次元形状測定機, 光ファイバ, ファイバプローブ, 測定, 微細穴, 微細形状

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抄録

微細金型や超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，極小径の光ファイバプローブを用いることによる低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，接触子直径1μmの極小径スタイラスを用いた際のFDTD法による光学シミュレーションの解析結果および各評価実験の結果について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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